硅烷法多晶硅生产工艺介绍

发布时间:2013-3-30 14:32:58 作者:admin 点击:
硅烷法:就是最终用硅烷热解制多晶硅的方法。  硅烷有多种制法,目前主流的生产工艺有:硅镁合金法工艺(Komatsu硅化镁法);氯硅烷歧化工艺(UnionCarbide歧化法);金属氢化物工艺(MEMC公司发明的新硅烷法)三种。目前所谓的硅烷法就是氢化铝钠(NaAlH4)还原四氟化硅(SiF4),国外这个工艺当然是成熟的,其中间产品是高纯硅烷气,也是相当重要的电子气体。但是由于技术垄断,国内引进的工艺技术问题多多。1,高纯SiF4的制备是个问题,国内没有成熟工艺。2,NaAlH4的制备是技术垄断的,此技术目前是MEMC独有的。3,目前国内的硅烷裂解技术,其实比西门子法的耗电没有降低多少。国内目前号称已经研发成功此工艺,可以量产的,名头最响的是:六九硅业和浙江中宁,但是到目前为止,可能我孤陋寡闻,市场上还没有见到他们生产的多晶硅产品。其实,硅烷法还有一条路径是用硅化镁法生产硅烷,再生产多晶硅,国内有不少厂家已经项目在建。愚认为,国内这个项目比氢化铝钠(NaAlH4)还原四氟化硅(SiF4)更有前途。  1.金属氢化物工艺  采用氢化铝钠与四氟化硅气体反应合成硅烷气体,化学反应如下:  NaALH4 SiF4——

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